Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
ชนิดการชำระเงิน: L/C,T/T,Paypal
Incoterm: FOB,CIF,DDP
C4F6 CAS: 685-63-2 Hexafluoro-1 3-Butadiene 99.99% 4N
ตัวแทนแกะสลักชิป
การใช้ผลิตภัณฑ์
Hexafluoro-1,3-butadiene (C 4 F 6 ) เป็นก๊าซที่ไม่มีสีไม่มีกลิ่นและน้ำที่ไม่ละลายน้ำ ที่อุณหภูมิและความดันปกติจุดหลอมละลายของมันคือ 132.0 ℃จุดเดือดคือ 5.9 ℃ .Hexafluoro-1,3-butadiene เป็นโอเลฟินคอนจูเกตซึ่งมีอะตอมฟลูออรีนหกตัว ก๊าซแกะสลักเนื่องจากอัตราส่วน F/C ที่เป็นเอกลักษณ์, hexafluoro-1,3-butadienehas การเลือกการแกะสลักที่สูงขึ้น, ความแม่นยำและอัตราส่วนภาพมากกว่าการกัดฟลูออโรคาร์บอนแบบฟลูออโรคาร์บอนแบบดั้งเดิม แม้แต่วงจรอิเล็กทรอนิกส์ที่แคบกว่า นอกจากนี้ C 4 F 6 มีอัตราส่วนการเลือกที่สูงขึ้นของ Photoresist และ Silicon Nitride มากกว่า C 4 F 8 ซึ่งสามารถปรับปรุงเสถียรภาพการกัดกร่อนอัตราการแกะสลักและความสม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพของผลิตภัณฑ์
พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์
Items |
Unit |
Index |
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
Measured by HF) |
Wt.ppm |
≤2 |
แอปพลิเคชัน
ใช้เป็นก๊าซแกะสลักสำหรับการแกะสลักพลาสมาของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์
บรรจุภัณฑ์และที่เก็บข้อมูล
Hexafluoro-1,3-butadiene เต็มไปด้วยกระบอกสูบเหล็กด้วยแบบจำลอง B10 ขนาด 14 ซม. × 83 ซม. ปริมาตรภายใน 10.1L น้ำหนักรวม 14.7 กิโลกรัมน้ำหนักบรรทุก 10 กิโลกรัม ข้อกำหนดของบรรจุภัณฑ์สามารถปรับแต่งตามข้อกำหนดของลูกค้า
ประเภทผลิตภัณฑ์ : สารเคมีเซมิคอนดักเตอร์อิเล็กทรอนิกส์ > วัสดุการแกะสลักเซมิคอนดักเตอร์/เวเฟอร์
เว็บไซต์โทรศัพท์มือถือ
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.